工业纯水机由预处理系统、精处理系统、后处理系统三大部分组成。原水经PP滤芯（砂棒过滤器）、活性炭单元、软水器单元等预处理系统后，使水中的悬浮物（颗粒物质）、胶体、有机物、硬度、微生物等杂质含量大大降低，以减轻后续的反渗透、电除盐等精处理系统的处理负荷，延长其使用寿命。
活性炭单元
活性炭的比表面积很大，且布满了孔径极小（10～30埃）的微孔，对有机物胶体、余氯、铁离子等有明显的吸附滤除作用。台式纯水机、净水器等常用10寸/20寸活性炭滤芯。大型纯水机组常用玻璃钢/不锈钢材质的活性炭滤罐。
软水器单元
大中型纯水系统常使用全自动软水器以除去原水中的钙镁离子。全自动软水器由钠离子树脂罐、再生盐箱及多路控制阀组成，能够设定程序控制运行，自动再生（时间型/流量型两种控制方式），再生时利用虹吸原理吸盐，再注水化盐，再生时间通常为2小时。
小型台式纯水机一般使用10寸/20寸软水树脂滤芯来降低原水硬度。
反渗透单元
RO（Reverse Osmosis）反渗透技术是利用压力表差为动力的膜分离过滤技术，源于美国二十世纪六十年代宇航科技的研究，后逐渐转化为民用，目前已广泛运用于科研、医药、食品、饮料、海水淡化等领域。
RO反渗透膜孔径小至纳米级（1纳米=10-9米），在一定的压力下，H2O分子可以通过RO膜，而源水中的无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质无法通过RO膜，从而使可以透过的纯水和无法透过的浓缩水严格区分开来。
RO膜对高价离子、胶体、细菌及分子量大于300 dalton的有机物质（包括热源）去除率高达99%以上，对低价离子（NA+、K+）去除率达95%，当源水电导率<3505µs/cm，RO纯水电导率通常≤55µs/cm，符合国家三级用水标准。再经过原子级离子交换柱循环过滤，出水率可达18.2MΩ.cm。
反渗透法是可达到90%～99%杂质去除率最经济的方法，同时也是试剂级超纯水系统最好的前处理方法。
备注
RO膜的过滤能力受水温影响较大，最适合的水温为25℃～30℃，温度下降1℃，RO膜的产水量约下降3%，当水温接近0℃时，RO膜将停止产水。
超滤器单元
超滤膜又称为中空纤维超滤膜。孔径介于反渗透和微滤之间，约0.01～0.1μm，常用作纯水系统的后处理装置，可用于截留溶液中各种微粒、大分子溶质、细菌、病毒、热原等。超滤膜的孔径是由一定分子量的物质进行截留试验测定的，并以分子量的数值来表示，能够滤除热原的超滤膜的分子量通常为6000道尔顿（dalton）。
紫外仪单元
紫外线是一种肉眼看不见的光波，存在于光谱紫外线端的外侧，故称之为紫外线，依据不同的波长范围，被割分为 A 、 B 、 C 三种波段，其中的 C 波段紫外线波长在 240 － 260nm 之间，为最有效的杀菌波段，波段中之波长最强点是 253.7nm。
当紫外线设备产生的足够剂量的强紫外光照射到水、液体或空气时，其中的各种细菌、病毒、微生物、寄生虫或其它病原体在紫外光 UV-C 的辐射下，细胞组织中的 DNA 、 RNA 被破坏，从而阻止子细胞的再生 ，紫外线消毒设备在不使用任何化学药剂的情况下，较短时间内（通常为 0.2-5 秒）杀灭了水中、液体或空气中 99.9% 以上的细菌和病毒。科学试验证明，波长在 240-280nm 的紫外线具备有高效杀菌功能。
现代紫外线消毒技术是基于现代防疫学、光学、生物学和物理化学的基础上，利用特殊设计的高效率，高强度和长寿命的 C 波段紫外光发生装置，产生的强紫外 C 光照射流水（空气或固体表面），当水（空气或固体表面）中的各种细菌、病毒、寄生虫、水藻以及其它病原体受到一定剂量的紫外 C 光辐射后，其细胞中的 DNA 结构受到破坏，从而在不使用任何化学药物的情况下杀灭水中的细菌、病毒，以及其它致病体，达到消毒和净化的目的。
紫外线杀菌器以 304 或 316L 不锈钢作主体材料，以高纯石英管作套管，配合高性能的石英紫外线低压汞消毒灯管，具有杀菌力强，寿命长、支行稳定可靠等优点，其杀菌效率≥ 99% ，进口灯管使用寿命≥ 9000 小时。
紫外线杀菌
紫外线是一种肉眼看不见的光波，存在于光谱紫外线端的外侧，故称之为紫外线，依据不同的波长范围，被割分为 A 、 B 、 C 三种波段，其中的 C 波段紫外线波长在 240 － 260nm 之间，为最有效的杀菌波段，波段中之波长最强点是 253.7nm。
紫外线杀菌的原理一般认为是生物体内的核酸吸收了紫外光的能量而改变了自身的结构，进而破环了核酸的功能所致。当核酸吸收的能量达到致死量而紫外光的照射又能保持一定时间时，细菌便大量死亡。
紫外线杀菌的特点
1.紫外线杀菌速度快，效率高，效果好。
2. 紫外线照射不会改变水的物理和化学性质，对纯水不会带入附加物所引起的污染。
3. 适用于各种水的流量下，操作简单，适用方便，只需要定期清洗石英玻璃套管，更换灯管即可。
4. 体积小，轻便，耗电低。
5. 紫外线杀菌没有持续消毒作用，易受二次污染。
紫外光（UV）的氧化作用。
